산업용 진공 펌프

로터리 베인 펌프: 로터리 베인 펌프는 캐비티 내부에서 회전하는 로터에 장착된 일련의 베인으로 구성됩니다. 베인이 회전함에 따라 원심력이 발생하여 베인이 각각의 슬롯에서 늘어나면서 압축 셀이 형성됩니다. 이 압축 셀은 공기를 흡입할 때는 커지고, 배출구로 공기를 밀어낼 때는 작아집니다.

관절형 피스톤: 관절형 피스톤 방식의 산업용 진공 펌프는 자동차 엔진과 유사한 방식으로 작동합니다. 피스톤이 실린더 내부에서 아래로 움직일 때 흡기 밸브를 통해 공기가 유입됩니다. 피스톤이 위로 움직일 때는 배기 밸브를 통해 공기가 배출됩니다. 두 개의 스프링식 피스톤 링이 피스톤과 실린더를 밀봉하는 역할을 합니다.

스크류 펌프: 로터리 스크류 펌프는 펌프 하우징 내부에 두 개의 평행한 회전 스크류를 포함합니다. 이 스크류들은 서로 반대 방향으로 회전하도록 동기화되어 압축 작용을 일으킵니다. 가스는 펌프의 토출구 방향으로 압축됩니다.

액체 링 펌프: 액체 링 펌프 또한 용적형 펌프로 작동합니다. 작동 중에는 펌프 케이싱 내부에서 임펠러가 회전합니다. 이때 회전하는 액체 링이 임펠러와 날개를 밀봉합니다. 액체가 압축 챔버로 흡입되어 링의 안정성을 유지합니다. 이송되는 가스는 임펠러가 한 바퀴 회전할 때마다 압축됩니다.

클로형 진공 펌프는 회전하는 동안 서로 접촉하지 않지만 매우 가까이 위치한 두 개의 로터로 구성됩니다. 로터가 회전하면서 로터 사이의 공간을 물리적으로 넓혀 공기를 빨아들이고, 회전하면서 로터 사이의 공간을 물리적으로 좁혀 챔버 내부의 공기를 압축하여 배출합니다.