반도체 산업용 고효율 통합 진공 장치

Ever-Power의 통합 진공 장치로 산업 효율을 극대화하십시오. 당사의 JZJLGB 시리즈는 고성능 무오일 루트 스크류와 건식 스크류를 결합하여 리튬 배터리, 반도체 및 코팅 분야에 이상적입니다. 지금 바로 최고의 산업용 진공 시스템 솔루션을 만나보세요.

게시물: 일체형 진공 장치 태그: 건식 스크류 진공 펌프, 일체형 진공 장치, 진공 펌프

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설명
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JZJLGB 시리즈 진공 펌프 장치 성능

진공 펌프 유닛 모델		JZJLGB150H-3T	JZJLGB300H-4T	JZJLGB600H-5T	JZJLGB1200H-5T
구성		메인: ZJ150H 앞면: LGB50	메인: ZJ300H 전면: LGB70X	메인: ZJ600H 앞면: LGB110X	메인: ZJ1200H 앞면: LGB230A
펌핑 속도(50Hz)	L/s	150	300	600	1200
펌핑 속도(50Hz)	m³/h	540	1080	2160	4320
최대 압력(50Hz)		0.5 Pa	0.5 Pa	0.5 Pa	0.5 Pa
모터 출력(주/전방)		3kW / 4kW	4kW / 5.5kW	7.5kW / 7.5kW	11kW / 18.5kW
연결	입구(mm)	100	150	200	250
연결	출구(mm)	40	40	40	80
냉각수	압력(MPa)	0.2 ~ 0.35
	유량(L/min)	10	10	12	13
	온도(°C)	≤40
가스 시스템	압력(MPa)	0.05	0.05	0.05	0.06
가스 시스템	유량(L/min)	25~30	25~30	30~35	35~40
외부 냉각수 배수구		φ16	φ16	φ16	φ16
외부 냉각수 유입구		φ16	φ16	φ16	φ16
외부 냉각수 배출구		φ16	φ16	φ16	φ16
외부 냉각수 호스		φ16	φ16	φ16	φ16
외부 퍼지 가스 호스		φ8	φ8	φ8	φ8

일체형 진공 장치

외부 치수 도면

일체형 진공 장치

결정판 산업용 진공 시스템 이 솔루션은 ZJ 루츠 펌프의 빠른 속도와 LGB 건식 스크류 펌프의 신뢰성을 결합하여 오일이 전혀 필요 없는 고진공 성능을 제공합니다.

제품 배경: 중앙 집중식 진공 청소 시스템의 진화

급속도로 발전하는 리튬 배터리 제조, 반도체 제조 및 첨단 박막 코팅 분야에서 진공 안정성과 순도에 대한 요구는 그 어느 때보다 높아졌습니다. 기존 설비는 대개 분산된 개별 펌프에 의존하기 때문에 압력이 일정하지 않고 유지보수 비용이 높으며 에너지 소비가 증가합니다. 이러한 문제를 해결하기 위해 새로운 진공 시스템으로의 전환이 필요합니다. 중앙 집중식 진공 장치 건축은 시설 효율성에 대한 현대적 기준을 제시합니다.

Ever-Power는 JZJLGB 시리즈를 설계했습니다. 일체형 진공 장치 이러한 특정 B2B 과제를 해결하기 위해, 고용량 루츠 부스터 펌프와 견고한 건식 스크류 백킹 펌프를 단일 스키드 장착형 시스템에 통합하여 깨끗하고 오일이 없는 펌핑 챔버에서 심진공(0.5 Pa)을 제공하는 턴키 솔루션을 제공합니다. 이 시스템은 단순한 펌프가 아니라 포괄적인 솔루션입니다. 공장용 고효율 통합 진공 장치 생산량을 최적화하고 가동 중지 시간을 줄이려고 합니다.

당사의 통합 장치는 시스템의 핵심 역할을 하도록 설계되었습니다. 산업용 중앙 진공 시스템복잡한 가스 처리, 용매 회수 및 표준 기계식 펌프로는 감당하기 어려운 연속 작동 부하를 처리할 수 있습니다.

주요 특징 및 장점

1. 완벽하게 통합된 디자인

JZJLGB 시리즈는 진정한 시리즈입니다. 일체형 진공 장치ZJ 시리즈 루츠 진공 펌프(메인)와 LGB 시리즈 건식 스크류 진공 펌프(포어)를 결합함으로써 복잡한 현장 조립이 필요 없어졌습니다. 본 장치는 스키드 장착형으로 제공되며, 필요한 모든 배관, 냉각 인터페이스 및 전기 연결부가 포함되어 있어 플러그 앤 플레이 방식으로 바로 설치 및 통합이 가능합니다.

2. 오일 무첨가 및 오염물질 무첨가

반도체 및 리튬 산업에 필수적인 이 장치는 백킹 펌프로 건식 스크류 기술을 사용합니다. 이를 통해 오일 역류가 발생하지 않아 진공 챔버의 순도를 유지하고 습식 펌프에서 흔히 발생하는 오일 유화 문제를 해결합니다.

3. 고효율 및 에너지 절약

루트 부스터의 조합은 낮은 압력에서 펌핑 속도를 크게 향상시키고, 백킹 펌프의 가변 피치 스크류 설계는 에너지 소비를 줄여줍니다. 이러한 특징 덕분에 이 제품은 공장용 고효율 통합 진공 장치 탄소 발자국과 전기 요금을 줄이는 것을 목표로 한다.

4. 용매 회수 능력

가스 통로가 오일이 없고 접촉이 없기 때문에 응축성 용매는 펌프 오일을 오염시키지 않고 배기구에서 회수할 수 있습니다. 이는 화학 공정 및 배터리 슬러리 건조에 매우 중요한 특징입니다.

산업 응용

JZJLGB 중앙 진공 시스템 이 제품은 가동 시간과 진공 안정성이 필수적인 까다로운 환경을 위해 설계되었습니다.

리튬 배터리 제조
배터리 극 및 셀의 베이킹 및 건조에 사용됩니다. 오일이 함유되지 않아 전해액 오염을 방지하며, 높은 펌핑 속도로 빠른 건조 사이클을 보장합니다.
반도체 및 전자제품
CVD, PVD 및 에칭 공정에 이상적입니다. 이 장치는 다음과 같은 장비를 장착할 수 있습니다. 산업용으로 설계된 HEPA 필터가 내장된 일체형 진공 장치 (선택 사항) 유해 분진을 처리하고 클린룸 규정을 준수하기 위한 용도입니다.
진공 코팅
박막 증착에 필요한 깊고 안정적인 진공 상태를 제공하여 균일한 코팅 두께와 접착력을 보장합니다.
제약 및 화학
진공 증류, 동결 건조 및 탈기 공정에 적합합니다. 내식성 옵션을 통해 부식성이 강한 화학 증기도 처리할 수 있습니다.

선택 가이드: 중앙 진공 청소 장치 구성하기

올바른 것을 선택하세요 중앙 집중식 진공 장치 여러 요소를 신중하게 고려해야 합니다.

총 가스 부하량: 연결된 모든 챔버의 총 부피를 계산하십시오. 산업용 중앙 진공 시스템최대 유량 요구량보다 최소 20% 이상 높은 모델(예: JZJLGB1200H)을 선택하십시오.
극한의 압력: 본 장치의 최대 압력(JZJLGB 시리즈의 경우 0.5 Pa)이 공정 요구 사항을 충족하는지 확인하십시오. 더 높은 진공이 필요한 경우 추가 보조 펌프가 필요할 수 있습니다.
공정 가스: 귀사의 공정에 가연성, 폭발성 또는 부식성이 강한 가스가 사용되는 경우 알려주십시오. 당사는 특수 코팅 및 방폭형 모터를 제공합니다.
설치 환경: 설치 공간을 고려하십시오. 당사의 스키드 장착형 장치는 컴팩트하지만, 유지보수 및 냉각 공기 흐름을 위한 충분한 공간 확보가 필수적입니다.

설치 및 유지 관리

올바른 설치는 제품의 수명을 보장합니다. 저희는 포괄적인 서비스를 제공합니다. 중앙 진공 청소 시스템 설치 및 유지 관리 안내서 구매 시마다 다음 사항을 유의하십시오.

놓기: 진동 방지 처리가 된 평평한 기초 위에 설치하십시오.
관: 진공 등급 배관을 사용하고 굴곡을 최소화하여 전도성을 극대화하십시오. 다중 추출 방식의 산업용 중앙 진공 시스템각 분기 밸브의 적절한 격리를 확보하십시오.
냉각: 연속 작동 중 과열을 방지하기 위해 안정적인 냉각수 공급원(0.2~0.35 MPa)에 연결하십시오.
유지: 건식 스크류 및 루트 설계로 유지보수가 최소화됩니다. 주로 기어 오일 레벨과 냉각수 흐름을 점검하면 됩니다. 펌핑 챔버 자체에는 교체해야 할 오일 필터가 없습니다.

고객 후기

"저희는 배터리 건조 라인을 Ever-Power JZJLGB1200H로 업그레이드했습니다. 건조 시간이 30% 단축되었고, 일정한 진공도 덕분에 수율이 크게 향상되었습니다. 정말 탁월한 선택입니다." 제조 공장 분진 제어에 최적화된 통합 진공 장치 그리고 우리가 사용해 온 습기 제거 방법."

- 리튬 에너지 주식회사 운영 이사

"통합 설계 덕분에 설치 시간을 몇 주나 절약할 수 있었습니다. 장비는 스키드에 장착된 상태로 도착하여 며칠 만에 가동 준비를 마쳤습니다. 오일이 필요 없는 작동 방식은 당사의 반도체 클린룸 요구 사항에 완벽하게 부합합니다."

- 첨단 마이크로 디바이스 공장 시설 관리자

자주 묻는 질문(FAQ)

1. 통합 진공 장치가 독립형 펌프에 비해 갖는 주요 장점은 무엇입니까?

통합 장치는 부스터 펌프(루츠형)와 백킹 펌프(스크류형)를 결합하여 최적화된 스키드 장착형 시스템을 구현합니다. 이를 통해 개별 펌프를 관리하는 방식에 비해 저압에서 더 빠른 펌핑 속도, 더 깊은 최종 진공, 간편한 설치 및 중앙 집중식 제어가 가능합니다.

2. 이 장치는 부식성 가스를 처리할 수 있습니까?

예. JZJLGB 장치의 LGB 백킹 펌프에는 부식 방지 코팅이 적용되어 있습니다. 부식성이 매우 강한 환경에서는 특정 재질(예: 하스텔로이 코팅) 및 씰 구성으로 장치를 맞춤 제작하여 수명을 연장할 수 있습니다.

3. JZJLGB 시리즈는 어떤 유지보수가 필요합니까?

이 시스템은 유지보수가 최소화되도록 설계되었습니다. 일상적인 작업으로는 냉각수 흐름 점검, 기어박스(진공 챔버와 분리됨)의 기어 오일 레벨 모니터링, 그리고 흡입 필터의 주기적인 청소가 있습니다. 펌핑 챔버에는 교체해야 할 오일이 없습니다.

4. 이 기기를 원격으로 제어할 수 있나요?

물론입니다. 본 장치는 통합 제어 패널을 갖추고 있을 뿐만 아니라, 공장의 SCADA 시스템을 통한 원격 모니터링 및 제어를 위한 PLC 통합도 지원하므로 최신 스마트 공장에 이상적입니다.

5. 이 시스템은 분진 제거에 적합합니까?

펌프 자체에서 일부 입자를 처리할 수 있지만, 먼지가 많이 발생하는 환경에서는 별도의 설정을 권장합니다. 산업용으로 설계된 HEPA 필터가 내장된 일체형 진공 장치 입구 쪽에 있습니다. 이는 스크류 로터를 보호하고 장기적인 신뢰성을 보장합니다.

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대부분의 제품은 유럽이나 아메리카로 수출되며 표준 및 비표준 제품을 모두 사용할 수 있습니다. 도면이나 샘플에 따라 생산할 수 있습니다. 재료는 표준 또는 특별 요청에 따라 사용할 수 있습니다. 우리를 선택하면 신뢰할 수 있습니다.

제품 품질 보고서

사용 가능한 재료

1. 스테인리스 스틸: SS201, SS303, SS304, SS316, SS416, SS420
2. Steel:C45(K1045), C46(K1046),C20
3. 황동:C36000(C26800), C37700(HPb59), C38500(HPb58), C27200(CuZn37), C28000(CuZn40) 3.
4. 브론즈: C51000, C52100, C54400 등
5. 철: 1213, 12L14,1215
6. 알루미늄: Al6061, Al6063
7. 귀하의 요청에 따른 OEM
사용 가능한 제품 자료

표면 처리

어닐링, 천연 부동태화, 열처리, 연마, 니켈 도금, 크롬 도금, 아연 도금, 황색 부동태화, 금 부동태화, 새틴, 검은색 표면 도장 등.

처리 방법

CNC 가공, 펀칭, 터닝, 밀링, 드릴링, 연삭, 브로칭, 용접 및 조립
제품 마감

품질 관리 및 인증서

기술자가 생산 과정에서 자체 점검하고, 전문 품질 검사관이 포장 전 최종 점검합니다.
ISO9001:2008, ISO14001:2001, ISO/TS 16949:2009

패키지 및 리드 타임

크기: 도면
목재 케이스/용기 및 팔레트 또는 맞춤형 사양에 따라.
15-25일 샘플. 30-45일 공식 주문
항구: 상하이/닝보 항구
제품 패키지

반도체 산업용 고효율 통합 진공 장치

JZJLGB 시리즈 진공 펌프 장치 성능

외부 치수 도면

제품 배경: 중앙 집중식 진공 청소 시스템의 진화